Stáhnout dokumentaci v pdf

HD-3D optické měření profilu povrchu
a tloušťky vrstev
CCI HD
stvořen k překonávání hranic nemožného ….
Optická interferometrie bez kompromisů
 2,2 mm vertikální rozsah skenování
s patentovaným, robustním skenovacím
mechanizmem osy Z (ne na piezzo principu),
řízeným v uzavřené smyčce
 0,1 Å vertikální rozlišení v celém rozsahu
 Zobrazení s 2048 x 2048 pixelů pro velké zorné
pole s vysokým rozlišením
 Vhodné pro povrchy s odrazivostí 0,3% - 100%
Virtuální odstranění nejistoty měření
 < 0,2 Å opakovatelnosti RMS;
< 0,05% opakovatelnost výšky schodu
 Design optimalizovaný metodou konečných prvků
pro vynikající výsledky R&R
 Kalibrace pomocí ISO standardů zajišťuje
důvěryhodnost výsledků
 Automatické ostření a nastavení rozsahu eliminuje
vliv operátora
Robustní design pro dlouhodobou efektivitu
 Robustní vertikální skener bez piezzo prvků šetří
vysoké náklady na servis
 Autoostření brání nabourání a poškození objektivu
 Vestavěný nástroj autodiagnostiky pro rychlé a
snadné řešení problémů
 Jednoduchá obsluha omezuje možnost chyb
operátora
64-bitový software pro ovládání a analýzy
 Více-jazyčná podpora komunikace
 Kompatibilní s většinou PC platforem pro společné
výzkumné projekty
 Nové nástroje, včetně 4D analýz 3D povrchů, tak,
jak se v čase vyvíjejí
 Automatická generace protokolů z dávek
změřených dat.
Vylepšení funkčních vlastností
kuliček do kuličkových per
CCI HD se používá k analýze rozměrů, tvaru
a objemu jamek na povrchu malých kuliček,
které zajišťují plynulou dodávku inkoustu.
Optimalizace účinnosti
fotovoltaických článků
„Rychlost a mimořádná citlivost
činí ze CCI HD ideální nástroj
pro výzkum a vývoj,
ale také pro zajištění
kvality ve výrobě“
Jednotná hloubka rýhy zamezuje proudění
vodivého materiálu mimo rýhu, které snižuje účinnost. CCI vyhodnocuje funkce jako
hloubka, šířka a objem rýhy
Prof. Michael Walls,
profesor fotovoltaiky v CREST,
Velká Británie
CCD HD je průmysl měnící směs vědy, zkušeností a fantazie
Rozsah, rozlišení, přesnost, spolehlivost
- náš recept pro Váš úspěch
Bez ohledu na typ vzorku a jak rychle ho musíte analyzovat, tomuto revolučnímu
bezkontaktnímu optickému profiloměru pro 3D prostorové měření můžete zcela
důvěřovat. Spojení unikátní 4M pixelové kamery s vertikálním rozlišením 0,1 Å
poskytuje neuvěřitelně detailní analýzu nejrůznějších typů povrchů, od velmi
hrubých po extrémně hladké.
Univerzálnost
- připraven pro výzkumné projekty i do výrobních procesů
CCI HD je připraven držet krok s vysokou odbornou úrovní vědců a pracovníků
výzkumu a pokrýt většinu náročných požadavků na měření v oborech s rychlým
vývojem, jako jsou sluneční energie, optika a zdravotnické pomůcky. Spojení
výkonného softwaru pro analýzy rozměrů a drsnosti s nekompromisní konstrukcí
přístroje poskytuje ideální kontrolní nástroj prakticky jakékoliv aplikace.
Snadné použití
- snižuje náklady na školení obsluhy
Ani v případě, že je přístroj používán jen zřídka, není nutné opakovat školení ani
dohled nad obsluhou. Snadná obsluha CCI HD vyhovuje vědcům, studentům,
vývojářům i provozním revizorům kvality. Přístroj je vybaven funkcemi jako je
automatické ostření a automatické nastavení rozsahu, což významně zjednodušuje proces nastavení a vyrovnání vzorků. Ušetříte cenný čas, omezíte chyby a
rychle získáte požadované výsledky.
Komplexní platforma zjednodušuje integraci ISO 17025
Významně rozšiřuje Vaše analytické možnosti, aniž by se zvýšila složitost
vlastních analytických programů. Můžete měřit širokou škálu součástek a
povrchů bez komplikovaného přepínání mezi měřícími režimy a bez
nutnosti průběžné kalibrace objektivu. Standardizované metody, postupy
a výstupy protokolů usnadňují integraci přístroje CCI HD do Vašeho
systému řízení kvality.
Řízení výroby čoček
Pikoprojektory vyžadují mimořádně přesné
matice čoček. Odhalení vad na povrchu
každé čočky je pro kvalitu zobrazení
kritické.
Nová generace 3D kamer
VGA technologie
minulého století 640 x 480
Vyšší rozlišení
Obrazový snímač CCI HD s maticí pixelů 2048 x 2048 je nesrovnatelně
kvalitnější než stará technologie VGA, která s maticí pixelů 640 x 480
hrubě omezovala laterální rozlišení. Nyní můžete bez potíží měřit velké
plochy, aniž by docházelo ke zkreslení způsobenému přibližovacími
(FoV) čočkami.
CCI HD 2048 x 2048
Rychlejší měření
Větší FoV (zorné pole) znamená méně nastavování, rychlejší kontrolu a
efektivnější využití přístroje i obsluhy. Lepší nákladová efektivita tak
přináší schopnost zkontrolovat důkladněji a mnohem podrobněji více
vzorků, bez dodatečných výdajů.
Skvělé výsledky
Se 4 miliony datových bodů je měřená plocha definovaná jako nikdy
předtím. Na velkém zorném poli můžete kdekoliv odhalit a následně
přiblížit k podrobné analýze povrchové vady či potenciální problémové
oblasti, aniž byste ztráceli čas opětovným přeměřováním vzorku.
Kamera - nová technologie
Vysoké rozlišení vizuální analýzy je základním nástrojem pro
moniotorování a zlepšování Vašeho výrobního procesu.
Ohromující 3D obraz se sub-mikronovými detaily můžete využít pro
vzdělávání, informování nebo prostě k ohromování Vašich
potenciálních zákazníků Vaší odbornou úrovní.
Šetří Váš drahocenný čas,
redukuje chyby obsluhy
a rychle poskytuje
požadované výsledky
Optická profilometrie 21. století
Automatická detekce povrchu
Funkce automatického vyhledávání interferenčních proužků urychluje
kontrolu, protože eliminuje nutnost manuálního nastavení i nutnost
opakovaného měření v důsledku falešné identifikace povrchu vzorku.
Na rozdíl od běžných postupů automatického zaostřování, které vyžadují naprosto rovný a hladký povrch, toto inovativní propojení softwaru
a vynikající optické úrovně umožňuje správně, rychle a automaticky
identifikovat všechny druhy povrchů.
Automatické nastavení rozsahu
Naše exkluzivní automatické nastavení rozsahu, tedy funkce, která
nastaví optimální rozsah skenování na povrchu vzorku, také významně
zkracuje dobu měření. Ruční nastavení rozsahu skenování připomíná
spíše střelbu od boku, která má často za následek překročení rozsahu,
delší dobu měření a frustraci i těch nejobratnějších operátorů.
Univerzální měřící režim
Zjednodušte svůj proces kontroly, odstraněním složitých inspekčích
postupů i neslučitelných protokolů o měření. Náš patentovaný
algoritmus koherenční korelace nabízí sub-angstrémové rozlišení, bez
ohledu na rozsah skenování, takže můžete měřit všechny povrchy v
jakémkoliv stádiu výroby, na stejném přístroji, s použitím stejného
měřícího režimu.
Výkon pevných disků
Pro výkon pevných disků je rozhodující,
mimo jiné, jejich rovinnost.
S velkým zorným polem a 4 miliony pixelů
hodnotí CCI HD rovinnost, vlnitost i drsnost
Zvýšení výtěžnosti polovodičových součástek
CCI HD je využíván k vyhledání malých povrchových
vad, které snižují výtěžnost waferů
Pomáhá zlepšit účinnost solárních článků
Tlusté vrstvy (> 1,5 µm)
 Měřit lze jednovrstvé i vícevrstvé povlaky
 3D tloušťka, homogenita tloušťky vrstvy, odchlípnutí povlaku a drsnost
rozhraní substrát / povlak, to vše lze sledovat z jednoho měření
 Plná automatizace umožňuje změřit vzorek na více místech,
či změřit více vzorků naráz
Tloušťka vrstvy polymeru na kovovém substrátu
Tenké vrstvy (> 50 nm)
Patentovaný princip spirálového komplexního pole (Helical Complex Field
HCF)1 nyní poskytuje jedinečnou schopnost měření vrstev tenčích než 1,5
µm s nepřekonatelným vertikálním a prostorovým rozlišením. Patent Taylor Hobson.
Zkušební měření povlaku SiO2 na křemíkovém podkladu u tří vzorků s
rozsahem tloušťky povlaku 50 až 1000 nm.
Vzorek
CCI (HCF) tloušťka (nm)
Kalibrovaná tloušťka NIST (nm)
Chyba měření (%)
#1
47,3
47,0
0,6
#2
191,7
191,2
0,3
#3
1053,4
1055,7
0,2
Bylo zkoušeno dokonce i měření vrstvy tenčí než 25 nm, dosažení
takového výsledku je závislé na optických vlastnostech povlaku.
Informace o měření vrstev pod 30 nm poskytujeme na vyžádání.
1
Mansfield D. „Extrakce tenkých vrstev z interferometrického snímání s bílým světlem (WLSI)“
Sborník 21. výroční konference ASPE, říjen 2006
„CCI HD je velmi užitečný nástroj
pro studium ultra přesného
strojírenství.“
Doc. Jan Tomasik
Institut metrologie
a biolékařského inženýrství
Varšava, Polsko
Lékařské implantáty
MEMS
snímač zrychlení
Neomezené aplikační možnosti
pro airbag
Mnoho stávajících uživatelů spoléhá na CCI HD, jako na jedinečné řešení jejich
metrologických problémů, které by s žádným jiným přístrojem nezvládli. S vynikajícím rozsahem, rozlišením a snadným ovládáním můžete tento nástroj využít
pro
výzkum, vývoj i zajištění kvality v široké škále aplikací.
•
•
•
•
•
•
Tloušťka tenkých vrstev
Tloušťka tlustých vrstev
1. generace solárních článků
2. generace solárních článků
LED
MEMS
•
•
•
•
•
•
Drsnost waferů
•
Materiálový výzkum •
Ukládání dat
•
Leštěné optické prvky •
Texturovaná ocel
•
Obrábění diamantem •
Lékařské implantáty
Vstřikovací trysky
Povrch klikových hřídelí
Tloušťka lubrikační vrstvy
Drsnost ložisek
Papír / toner
Ocel s texturovaným povrchem
Diamantem obrobený optický prvek
Prodloužení životnosti
ortopedických implantátů
Tribologické studie ortopedických implantátů
poskytují důležité informace pro maximalizaci
jejich životnosti. CCI HD kombinuje údaje o
tvaru, povrchu a jeho textuře v jednom
vyhodnocení.
Nový výkonný software - vlastnosti
Řídící software
S 64 bitovým zpracováním je řídící software CCI HD mnohem
pružnější, rychlejší a výkonnější. Kompatibilita s většinou běžně
používaných platforem umožňuje sdílení výzkumných projektů a
vývoj pokročilých aplikací.
Díky více-jazyčné podpoře je nyní snadnější držet krok s globálním
vývojem ekonomiky i v rámci mezinárodních výrobních společenství.
TalyMap - analytický software
Výzkumná zařízení, továrny i univerzity po celém světě, ustanovily náš
analytický SW Talymap jako jejich preferovaný software pro analýzu
povrchu. Používá se ve vývoji výrobků, při zlepšování výrobních
procesů, k predikci chování i rutinní kontrole v mnoha odvětvích.
TalyMap je průběžně vyvíjen, doplňován a zlepšován
multidisciplinárním týmem specialistů (metrologové, softwaroví
inženýři a automatizační odborníci) tak, aby vyhovoval současným i
budoucím potřebám v oblasti metrologie povrchu.
Klíčové charakteristiky
Plná metrologická návaznost
Vývojový diagram nově umožňuje snadné sledování jednotlivých kroků analýzy.
Postup lze doplňovat o nové kroky a stávající kroky mohou být kdykoliv doladěny
nebo odstraněny.
Statistiky pro řízení kvality
Nové statistické nástroje umožňují sledovat a vytvářet statistiky jednotlivých
parametrů z různých datových souborů.
Více-jazyčná podpora
Jazykové prostředí lze přepnout do jednoho z šesti evropských jazyků, japonštiny
nebo čínštiny.
Rychlé výsledky
Pomocí funkce Minidoc je možné definovat jakoukoliv sekvenci kroků analýzy a
uložit ji jako makro do Minidoc knihovny, což výrazně urychluje
přípravu nových protokolů.
Uživatelská podpora
Vkládat lze loga, identifikační karty měření, poznámky na obrazovku, ilustrace
včetně bitmap, textové bloky, šipky.
Rozšiřující moduly
Rozšířením Talymapu o pokročilé moduly vzrostla jeho funkčnost o další analýzy
a prezentační možnosti.
Zlepšení těsnění vstřikovacích trysek
CCI HD odhaluje místa průsaku paliva
na povrchu vstřikovacích trysek v oblasti
kontaktu kuličky s kuželem.
„Špičková technologie spolu s uživatelsky
velmi příjemným programovým prostředím.
CCI pro nás i pro studenty představuje
velmi užitečnou učební pomůcku.“
Doc. P. Hariharan
ANNA UNIVERSITY CHENNAI, Indie
Analýza zkorodovaných povrchů
Díky kombinaci 4MP kamery a objektivu se
100x zvětšením je možné pochopit jemné
detaily korozních mechanizmů
Flexibilní a přátelský
all-inclusive software
Nová generace programu TalyMap zajišťuje jak shodu s novou 3D normou
ISO25178, tak i plnou metrologickou návaznost. Nové analytické funkce
zahrnují i 4D analýzu 3D povrchů tak, jak se vyvíjejí v čase, tlaku nebo pod
vlivem jiných fyzikálních faktorů.
Vedle fotorealistických barevných obrázků TalyMap přináší i mnohem praktičtější nástroje, jako jsou šablony pro opakované činnosti nebo automatické generování protokolů z dávek naměřených dat.
Taylor Hobson se těší skvělé pověsti v oblasti průmyslového zpracování dat.
Dostupné jsou následující analýzy parametrů a softwarové moduly:
2D parametry
3D parametry
Amplitudové
Základní profil (nefiltrované)
Sa, Sq, Sp, Sv, St, Ssk, Sku, Sz
Pa, Pc, Pdc*, Pdq, PHSC*, PHtp, Pku, Plo, Pmr*, Pp, PPc, Pq, Prms, Psk, PSm, Pt, Ptp,
Pv, Py, Pz, Pz(JIS), P3z, Pfd, Pda, Pla, PH, PD, PS, Pvo
Plošné a objemové
Stp, SHtp, Smmr, Smvr, Smr, Sdc
Vlnitost (s filtrem vlnitosti)
Wa, Wc, Wdc*, Wdq, WHSC*, WHtp, Wku, Wlo, Wlq, Wmr*, Wp, WPc*, Wq, Wrms,
Wsk, WSm, Wt, Wtm, Wtp, Wv, Wy, Wz, Wz(JIS), W3z, Wda, Wla, Wmax, WH, WD,
WS, Wvo
Drsnost (s filtrem drsnosti)
Ra, Rc, Rdc*, Rdq, RHSC*, RHtp, Rku, Rlo, Rlq, Rmr*, Rp, RPc*, Rq, Rrms, Rsk, RSm, Rt,
Rtm, Rtp, Rv, Ry, Rz, Rz(JIS), R3z, Rfd, Rda, Rla, Rmax, RH, RD, RS, Rvo
Rk (DIN 4776, ISO 13565-2)
A1, A2, Mr1, Mr2, Rk, Rpk, Rvk, Rpk*, Rvk*
R&W (ISO 12785)
AR, AW, HTrc, Pt, R, Rke, Rpke, Rvke, Rx, Trc, W, Wte, Wx, Kr, Nr, SR, SAR, Kw, Nw,
SW, SAW
Přímost (ISO 12780)
STRt, STRp, STRv, STRq
Funkční
Sk, Spk, Svk, Sr1, Sr2, Sbi, Sci, Svi, Sm, Vv, Vm, Vmp, Vmc, Vvc, Vvv
Rovinnost
FLt, FLTp, FLTs, FLTq, FLTv
Hybridní a prostorové
Sdq, Ssc, Sdr, Spc, Sds, Str, Sal, Std, Sfd
Analýza dat
Výška schodku, laterální vzdálenost, rozteč, měření úhlů,
počet vrcholů, interaktivní Abbot-firestone křivka, objem výstupků,
autokorelace, fraktální analýzy, analýzy Motif, frekvenční analýzy,
úprava dat, import skriptů MATLAB
Filtry
Gauss, robustní Gauss, Spline, vlnitost, robustní vlnitost a
morfologický
Progresivní moduly
Vrchol, křížový vrchol & zbytková šroubovice, laser-zónová textura, zdokonalený profil PSD, progresivní spojování dat
*U všech parametrů označených hvězdičkou lze přiřadit jeden nebo více kvantifikátorů; např. materiálový poměr (mr) může být posuzován v jednom nebo
více řezech v rámci jednoho měření
Volba možností
Objektivy CCI
Pro sérii přístrojů CCI je k dispozici kompletní řada objektivů
špičkových parametrů. Volba vhodného objektivu vychází z
požadavků aplikace.
Klíčové parametry volby:
Interferometr Mirau
Zorné pole (FoV) určuje velikost měřené plochy.
Optické rozlišení (OptRes) definuje nejmenší prvky, které lze rozlišit.
Sklon (Slope) je důležitým aspektem u zakřivených a hrubých
vzorků; u hrubých povrchů lze očekávat strmější sklon.



Všechny objektivy jsou dodávány s ochranným pouzdrem.
Interferometrické objektivy se standardní kamerou 2048 x 2048 pixelů
Mag
FoV
OptRes
SamRes
Slope
WD
Type
Design
NA
(mm)
(µm)
(µm)
(deg)
(mm)
2,5x
6,6x6,6
5,4
3,3
3,5
10,3
Std
Michelson
0,075
5,0x
3,3x3,3
3,1
1,65
6,4
9,3
Std
Michelson
0,13
10x
1,65x1,65
1,3
0,83
14
7,4
Std
Mirau
0,3
20x
0,825x0,825
1,0
0,415
19,5
4,7
Std
Mirau
0,4
50x
0,33x0,33
0,4-0,6
0,165
27,5
3,4
Std
Mirau
0,55
100x
0,165x0,165
0,3-0,5
0,0823
38
2
Std
Mirau
0,7
Zvětšení
10x; 20x; 50x; 100x
Interferometr Michelson
Další objektivy jsou k dispozici na vyžádání. Kontaktujte prosím příslušnou kancelář zastoupení.
Mag
zvětšení objektivů
WD
pracovní vzdálenost, vzdálenost mezi vzorkem a objektivem
FoV
plocha vzorku měřená daným objektivem
Type
systém objektivu, Std - standard, Uln - ultra nízký šum
OptRes
optické rozlišení, schopnost rozlišit přilehlé vrcholy
Design
typ použitého interferometru, Michelson nebo Mirau
SamRes
rozlišení vzorku, rozteč pixelů (prostorový interval vzorkování)
NA
numerická apertura, vyjadřuje úhlovou aperturu objektivů
Slope
maximální sklon odrazu, omezený numerickou aperturou
Zvětšení
5x; 2,5x
Tělo systému
Řídící elektronika
3-místný karusel
Objektivy
Výkonné PC
s možností až 2 monitorů
Naklápěcí stolek
Zdroje světla
XY posuvné
motorizované stolky
Výsledky,
kterým můžete věřit!
Technické specifikace
Systém
Typ měření
Režim měření
Z skener
Zorné pole
Světelný zdroj
Upevnění objektivu
Měřící matice
Analýzy
3D bezdotykový (4 miliony datových bodů)
Koherentní korelační interferometrie, patent Taylor Hobson
Vysoce přesný skener s uzavřenou smyčkou
Až 6,6 mm x 6,6 mm (v závislosti na objektivu)
Zdroj bílého světla (LED také v nabídce)
Třípolohový karusel
2048 x 2048 pixelů
Software
 Talymap analytický software
 Více než 120 2D & 40 3D parametrů
 Automatické načítání a třídění
 Připraven pro práci na dvou monitorech
Charakteristika
Vertikální rozsah (Z)
Vertikální rozlišení [max]
Šumové pozadí (Z)
Reprodukovatelnost RMS (Z)
Max. měřená plocha (X,Y)
Počet měřených bodů
Optické rozlišení (X,Y)
Opakovatelnost výšková
Odrazivost povrchu
2,2 mm standardně (>50 mm při Z - spojování)
0,01 nm [0,1 Å]
< 0,02 nm [0,2Å]1
< 0,02 nm [0,2Å]2
6,6 mm (>100 mm při X,Y - spojování)
2048 x 2048 standardně
0,3 µm (s objektivem 100x)
< 0,05%3
< 0,3% - 100%
Stolky
Velikost součásti (max)
Hmotnost součásti (max)
Automatický X-Y stolek (střední)
Automatický X-Y stolek (velký)
Ruční sklápění / náklon (standard)
X a Y = 150 mm; Z = 100 mm
10 kg
112 x 75 mm
150 x 150 mm
± 4° v osách X,Y (±6° úhlopříčně)
Požadavky systému
Celkové rozměry (půdorys)
Teplota (skladovací)
Teplota (operační)
Teplotní gradient
Vlhkost
Vibrace
550 mm x 550 mm x 850 mm (šxhxv)
10 - 50°C
10 - 30°C
< 1°C / hod (pro nejlepší výkon měření)
< 70% bez kondenzace
Vnitřní antivibrační systém v základně (standard)
Vnější aktivní antivibrační systém (volitelně)
1
Dokumentováno výsledky řady měření na vyrovnaném povrchu taveného křemenného skla
2
Dokumentováno 1 sigma Std úchylky 20 Sq (RMS) měření na destičce karborunda SiC
3
Standardní odchylka u 20 měření na etalonu s výškou schodu 5 µm
Působíme na celosvětovém trhu
Komplexní služby
Taylor Hobson je světově proslulým výrobcem přesných měřících přístrojů
určených pro kontrolu ve výzkumných a výrobních podmínkách. Přístroje zajišťují
měřící procesy s nanometrickou přesností a rozlišením.
Firma mimo přesnou měřící techniku nabízí i rozsáhlou metrologickou podporu,
která má přispět zákazníkům ke komplexnímu řešení jejich problemů v měření a
zvýšení spolehlivosti výsledků měření.
Taylor Hobson nabízí tyto smluvní služby:

Kontrola
Měření vašich výrobků prováděné zkušenými
techniky na špičkových přístrojích v souladu s
ISO standardy

Metrologické kurzy
Praktické kurzy měření kruhovitosti a drsnosti
povrchu vedené zkušenými techniky

Výcvik obsluhy
Instruktáž v místě měření přispěje k vyšší
efektivnosti a produktivitě kontroly

Kalibrace a testování UKAS
Ověřování etalonů nebo přístrojů ve firemních
laboratořích nebo přímo u zákazníka
K výše uvedeným službám se spojte s Center of Excellence:
email: [email protected]
nebo tel.: +44 116 276 3779

Projekční služby
Speciální požadavky, jednoúčelové metrologické
systémy pro požadované aplikace

Přesná výroba
Smluvní zajištění obrábění pro vysoce přesné
průmyslové aplikace

Preventivní údržba
Cílem služby Talycare je ochrana vašich investic
do metrologie
K výše uvedeným službám se spojte s Sales Department:
email: [email protected]
tel: +44 116 246 3034
Nebo kontaktujte svého místního zástupce.
Autorizované obchodní zastoupení pro ČR a SR:
IMECO TH s.r.o.
U Hřiště 733
664 42 Modřice
tel: +420 539 002 196
e-mail: [email protected]
URL: www.imeco-th.cz