Fyzi ká I n I ü sta\i - ELI – extreme light infrastructure

Fyzi ká I n I ü sta\i - ELI – extreme light infrastructure

Institute
di
of Physics ASCR,
Na
21
182
v.
V.
2
Prague
eI i-cz©fzu
8
cz
www.eli-heams.eu
beamtines
Kiasifikace
Dokumentu
BL
Status Dokumentu
Document Released
WBSkÔd
5.1.4
PBS kód
E.E5.LUX.L.EBO; E.E5.LUX.EL.5; E.E5.LUX.PUB, E.E5.LUX.TA
-
I.
Slovance
Restricted for
internal use
TCID/RevEze
00119176/D
Dokument No.
Requirements Specification Document (RSD)
(Technická specifikace (RSD) pro zaFIzenI kategorie typu Al
TurbomolekulárnI pumpy
pro erpãnI atmosférického vzduchu a vodIku
TP1 5_043
KIicová s/ova
N/A
Pozice
Odpovëdnã
osoba
Plipravil
Jméno a pIIjmenI
Lukas Pribyl
Team Leader, RA2 Lux Beamline
Marek Rajdl
Designer, Vacuum and cryogenics
Team
-
-
C
Fyzi ká I n I ü sta\i
Akade
m
e
vèd
R
v
v I
by
REGIONAL PEVftOPMENT fUND
YOUR FUTURE
OP Research aid
eweopREert fet Innovation
RSS TC ID! Revize
Datum
vytvoeni
Datum zmèny
Systems Engineer
008091/A.001
23.09.2015 11:10
23.09.2015 11:11
Aleksei Kuzmenko
008091/A
23.09.2015 10:51
08.03.2016 14:13
Aleksei Kuzmenko
008091/A.002
23.09.2015 10:51
13.01.2016 11:28
Marek MaI’
008091/A.003
008091/A.004
23.09.2015 10:51
08.03.2016 13:15
03.02.2016 15:28
08.03.2016 13:16
Marek MaI’’
Aleksei Kuzmenko
Revize dokumentu
Jméno (Reviewer)
Pozice
Datum
Podpis
Team Leader RA2 Lux
Beamhne
NOTICE (Product category A)
Designer, Vacuum and
cryogenics Team
NOTICE (Product category A)
Designer, Vacuum and
cryogenics Team
NOTICE (Product category A)
Ladislav Pust
Manager Installation of
Technology
NOTICE (Product category A)
Milan Berta
Logistics Coordinator for
research activities 2-6
NOTICE (Product category A)
Jana Hejduková
Geodetic Engineer
NOTICE (Product category A)
Alice Hamalová
Clean Room Specialist
NOTICE (Product category A)
Petr Procházka
Safety Coordinator
NOTICE (Product category A)
Lukas Pribyl
.
Martin Jantac
.
Marek Rajdl
.
SE & Planning group leader;
Quality Manager (Appointed
Viktor Fedosov
NOTICE (Product category A)
temporary)
Sch válenI dokumentu
Jméno (Schvalovatel)
Pozice
Science and Technology
coordinator, Scientific
coordinator of RA2-6
Georg Korn
Podpis
Datum
F
,-
///
Záznam o pro vedenfth zmënách v dokumentu / revize
Zmèna
No.
Pripra vii
1
A.Kuzmenko
23.09.2015
VytvoenI dokumentu
A
2
M.MaI’
13.01.2016
Dokument na schválenI
B
3
L Pi9byI
03 02 2016
4
A. Kuzmenko
08.03.2016
.
Datum
inhus
Akademle vëd R.
V.
v.1.
Popis zmen, Stranka, Kapitola
TC rev.
Update dokumentu (tabulka 1), vyputënI
TMP typu A a typu B
Aktualizace dokumentu, finálnI revize
D
212
beamUnes
Obsah dokumentu
1.Üvod
.4
1.1. Uel dokumentu
1.2. Pedmëtdokumentu
1.3. Pojmy, Defince a Pouité zkratky
.4
4
4
2. Obsah dodávky
3. Obecné funknI, vkonové poadavky a poadavky limitujIcI konstruknI návrh
5
5
3.1. Obecné poadavky
3.2. erpacI rych lost
3.2.1.
3.2.2.
3.2.3.
3.2.4.
3.2.5.
5
7
KompresnI pomër
MeznI tlak
MaxmálnI pIpustn tlak na vstupu turbomolekulárnI pumpy
MaximálnI povolen tlak na v’stupu turbomolekulárnI pumpy
ChlazenI turbomolekulárnIch pump
7
7
8
8
8
3.3. PIdavná zaiIzenI
3.4. IdcI system Dálkové ovládánI pump
8
8
-
3.4.1. Poadovaná rozhranI
9
4. PodmInky provozu
5. Udrba
6. Poadavky na dopravu zaIzenI
10
10
10
6.1. Obecné poadavky na dopravu zaIzenI
6.2. Specifické poadavky na dopravu zafizenI
10
11
7. Poadavky na bezpenost zaIzenI
8. Poadavky na jakost dodávaného zaIzenI
11
11
8.1. Obecné poadavky na jakost dodávaného zaIzenI
8.2. MezinárodnI standardy
8.3. Specifické poadavky na jakost dodévaného zaIzenI
11
12
12
8.3.1. Testy
Jzz:zzzz
‘
12
1..z!zz:z
Fyzi ká In í ü stay
Akademle vëd R, v.v.i.
I
beamUnes
1. Uvod
Dodávka turbomolekulárnIch pump a pIsIuenstvI bude zabudována do Iaserovch a
experimentálnIch zaIzenI v laboratornIm prostedI.
TurbomolekulárnI pumpy budou siout k oderpánI atmosférického vzduchu a vodIku.
1.1. Uei dokumentu
Tento dokument pedstavuje tech nckou specifikaci (dale jen RSD; Requirements Specification
Document) obsahujIcI technické poadavky a omezujIcI podmInky na poadované zaiIzenI v
rámci projektu ELI. Toto möe vest k identifikaci rozhranI zaIzenI (produktu) s ELI
v’’zkumnmi technologiemi stejnë jako zaIzenIm budovy ELI. Tato technická specifikace (RSD)
take pinI roll nadazeného dokumentu pro dokumentaci technick’’ch poadavk, které je teba
eit na niI tirovni konstruknIho nàvrhu (designu).
1.2. Pledmët dokumentu
Poadované zaIzenI/produkt (TurbomolekulãrnI pumpy pro cerpánI atmosférického vzduchu a
vodIku [PBS: E.E5.LUX.EL.EBO; E.E5.LUX.EL.5; E.E5.LUX.PUB, E.E5.LUX.TA]) je speciflkováno
v násiedném textu tohoto RSD.
RSD obsahuje násiedujIcI poadavky na poadované zaIzenI (produkt): funkënI, v)2konové,
pozadavky limitujIcI konstrukcnI návrh, poadavky na transport, poadavky na bezpecnost a na
jakost dodãvaného zaIIzenI (produktu). Jedná se o zaIzenI kategorie typu A.
Kategorie zaIIzenI (produktu) typu A pedstavuje katalogové zaIzenI (produkt) bez nutnosti
modifikacI a bez nutnosti realizovat program ovëování (pezkoumánI návrhu, vizuáinI
kontrola, zkouky) pro Zadavatele die aktuálnIch specifikacI aplikacI v rámci projektu ELI
Beamlines.
Vechny aktivity ovëovánI realizované Dodavatelem musI b’’t provedeny v souladu s
Dodavatelov’m piánem vstupnI kontroly (v’stupnI vizuálnI kontroiou a v’’stupnImi
zkoukami). InternI postup pejImky zaIzenI (produktu) kategorie typu A musI b’’t stanoven a
aplikován ped uvedenIm zaIzenI do provozu (faze provozu).
1.3. Pojmy, Definice a Pou±ité zkratky
Pro üely tohoto dokumentu jsou pouity následujIcI pojmy, zkratky a definice:
Zkratka
CA
E1-E6
ELI
L1-L4
PLC
RA1-RA6
RSD
TMP
Pojem, definice
Contracting Authority (Zadavatel)
ExperimentálnI haly 1-6 (Experimental halls 1-6)
Extreme Light Infrastructure
Laserové haly 1-4 (laser halls 1-4)
Programovateln logick’ automat
V’’zkumné aktivity 1-6 (Research activities 1-6)
Requirement Specification Document (technická specifikace)
TurbomolekulárnI pumpa
FyzikáInIüstav
OJ
Akademle véd R,
V.V.i.
4i2
2. Obsah dodávky
REQ-013 110/A
SouástI dodaného zboI musI bt:
TurbomoiekulárnI pumpy die technické specifikace (Tab. 1),
NapájecI a IdIcI jednotky pro vechny turbomoiekulárnI pumpy,
Kabelá,
SIto pro hrubé nestoty na vstupnI pIrubu ke kadé TMP,
ZavzduñovacI ventli (eiektricky ovIádan’’) ke kadé TMP,
> Protokoi o funknIm testu TMP,
BaienI a transport zboI,
> Manuái k provozu, k instaiaci a üdrThë TMP v eském nebo angiickém
jazyce (v eiektronické podobë),
> ZakoienI technického personáIu o provozu a üdrbë zaIzenI v rozsahu
max. jeden den v mIstë dodánI.
3. Obecné funknI, vykonové poadavky a poadavky
IimitujicI konstruknI návrh
3.1. Obecné poadavky
RFQ-013 114/A
Vechny turbomoiekuiàrnI pumpy musI b’’t bezolejové a nesmI docházet k
ádnému uvoiñovánI ástic z turbomoiekuIárnIch pump do erpaného
prostoru.
REQ-013 115/A
Loiska nesmI b’’t pimazávána tuhmi mazivy (tuky).
REQ-0131 16/A
Z dövodu monosti pIenthenI vibracI do systému nesmI b’’t pouito chiazenI
pomocI ventiiátoru, proto vechny turbomoiekuiárnI pumpy musI b’t chiazeny
vodou (viz Tab. 1 Poadavky na chiad. kapaiinu) nebo musI b’’t schopné
provozu bez pIdavného chiazenI.
REQ-013 117/A
Vechny turbomoiekuiärnI pumpy musI bt chránëny proti pokozenI pi
vpadku eiektrické energie.
REQ-0131 18/A
Vechny turbomoiekuiárnI pumpy musI b’t chránëny proti pokozenI pi
náhlém nárstu tepioty.
REQ-0131 19/A
OviádánI vech turbomoiekuiárnIch pump musI b’’t pomocI externIho
kontroiéru, pouze typ D me mit integrovan’ kontroiér.
REQ-013 120/A
Rozmër a typ pIrub pro pipojenI turbomoiekuiárnIch pump k erpanému
recipientu je specifikován v Tab. 1.
EyzikáInIüstav
..
Akademle véd R, v. v.1.
1
beamUnes
REQ-013 12 1/A
Rozmër a typ v’’stupnIch pIrub turbomolekuiárnIch pump je specifikován v
Tab. 1.
REQ-013 122/A
TurbomolekulárnI pumpy typu C die Tab. 1 musI bt schopny provozu v
libovoiné poloze.
TYP
C
D
MnostvI [ksJ
1
3
500
45
MinimálnI nominàlnI erpacI rychiost pro H2
-1
MeznItlak [mbar]
VstupnI pIruba
510’°
Rozmër
DN 160 nebo DN200
DN 63
ISO-CF
ISO-CF
DN25 nebo DN 40
DN 16
lSO-KF
ISO-KF
910
410
Demi.
Demi.
voda
voda
3
2,5
16 20
16 20
4
4
ISO 1609:1986
Typ
,
Vystupni priruba
ISO 2861:2013
Rozmër
Typ
MinimálnI kompresnI pomër pro H2
,
Typ chiazeni
MaximãlnI prütok chiadicI kapaliny [1/mm]
Teplota chiadicI kapaliny [°C]
-
MaximálnI tiak chladicI kapaliny [bar]
-
Libovolnã, nebo die obr.
Orientace
Iibovolnã
Error! Reference source
not found.
MaximálnI hmotnost [kg]
35
4
Tab. 1 Technické specifikace turbomoiekuiárnIch pump C, D
REQ-013 123/A
TurbomolekulárnI pumpa typu D die Tab. 1 musI b’’t schopna provozu v
poioze die obr. 1, nebo v libovoiné poioze.
EyzikálnI üstav
Akademle véd CR. v.v.i.
6112
di
i))))))
beamtines
KOMORA
/
Obr 1 UmIstënI TMP typu D na komoe
REQ-013 124/A
Pro dosaenI poadovaného kompresnIho pomëru mOe b’t sériovë pidána
daII turbomolekulárnI pumpa. V’’sIedné sériovë azené pumpy budou tvoit
jeden celek a typ (C nebo D) v Tab. 1.
3.2. erpaci rychiost
REQ-013 125/A
CerpacI rychiost vodIku pro jednothvé typy (C, D) turbomolekulérnIch pump je
specifikovéna v Tab. 1.
REQ-013 126/A
MinimáinI poadovaná hodnota erpacI rychiosti je urená pro tiak menI ne
i•iO mbar.
32.1. Kompresni pomër
REQ-013 127/A
MinimálnI kompresnI pomër pro erpánI vodIku u jednothv’’ch typo (C, D)
turbomolekulárnIch pump je specifikovn v Tab. 1.
3.2.2. MeznI tiak
REQ-013 128/A
MeznI tiak pro jednotlivé typy turbomolekulárnIch pump je definován v Tab. 1.
REQ-013 129/A
Vechny turbomolekulárnI pumpy musI doshnout meznIho tiaku na zaslepené
vstupnI pIrubë die Tab. 1 nejdéle za 12 hod pi erpánI z atmosférického
tiaku.
EyzikálnI üstav
Akademle vëd R. v. v.1.
7112
I
beamtines
3.2.3. MaximálnI pIIpustny tiak na vstupu
turbomolekulárnI pumpy
REQ-U 13 130/A
TurbomolekulárnI pumpy musI b’’t schopné nepetritého provozu pi tlaku
0,001 mbar na vstupnI pIrubë.
3.2.4. MaximálnI povoleny tiak na vcstupu
turbomolekulárni pumpy
REQ-013 13 1/A
TurbomolekulérnI pumpy musI bt schopné nepetritého provozu pi tiaku
0,1 mbar na v’’stupnI pIrubë.
3.2.5. Chlazeni turbomolekulárnIch pump
REQ-013 132/A
Pro chlazenI turbomolekulárnIch pump musI b’’t moné pouIt
demineralizovanou vodu.
3.3. PIidavná zaiizeni
REQ-U 13 133/A
SouéstI dodávky ke kadé turbomolekulárnI pumpë musI b’’t:
• SIto na vstupu pro hrubé neistoty. NesmI snIit erpacI rych lost vice
ne o 10% a velikost ,,ok” nesmI b’t vëtI ne 5 mm,
• ZavzduñovacI ventil (elektricky ovládan’),
• PIsluenstvI umoñujIcI turbomolekulárnI pumpu pipojit na rozvod
chladicI kapaliny,
• Kabelá,
• .IdIcI jednotka (kontrolér) a napthjecI jednotka.
3.4. thdici system
-
Dálkové ovlãdãnI pump
V tomto oddlie se termInem pumpa oznauje turbomolekulárnI pumpa (TMP) se sv’fr
pIsIun’m kontrolérem vetnë napájecIjednotky. TMP budou zalenény do IdicIho systému,
kter’’ je bude dálkovë ovládat. Pod pojmem rozhranI se rozumI soubor technick’’ch opateni
zajiifujIcI komunikaci s nadazen’’m dálkov’’m ovládánIm. Pod pojmem ,,binárnI” se rozumI
dvoustavová hodnota. Neboli pokud je nap. uvedeno, e informace ,,status OK” je binárnI
ádaj/signál, ma tato informace dye mofré hodnoty ,,OK” a ,,NOT OK”, afje reahzována jako
jednobitová hod nota, i jinak.
REQ-013 135/A
TMP musI bt mofro napájet ze sIte 230 V ± 10%, 50 Hz.
FyzikálnI üstav
Akademie véd R.
V. V.
I.
e15
I
beamUnes
3.4.1. Poadovaná rozhrani
3.4.1.1. A. Paralelni vstupnë/ vystupni rozhranI pro
pIipojenI vzdãleného ovládãnI
Charakteristick’’ vIcepinov’’m dedikovan’9m konektorem pro pipojenI PLC.
REQ-0 13 138/A
RozhranI pro vzdálené ovládánI musI pouIvat vstupnI jednobitové (logické)
signály o árovni max. 24 VDC/ 20 mA.
REQ-013 139/A
ParalelnIm rozhranIm musI bt penáeny tyto pIkazy (vstup do TMP):
• ZapnutI a vypnutI TMP,
• Popfipadë daII signály potebné pro ádné ovlädánI TMP.
REQ-0 13 140/A
ParalelnIm rozhranIm musI b’’t penáeny minimálnë tyto stavové informace
(v’stup z TMP):
• OK status, tj. ve v poádku (nejlépe pomocI kontakt relé),
• TMP zapnuta, tj. e jsou detekovány otáky (nejlépe pomocI kontakt
relé),
• DosaenI nominálnIch otáek (nejlépe pomocI kontakt relé),
• Signalizaci abnormálnIho stavu a vstrahy (nejlépe pomocI kontakti
relé),
• PopIpadë dosaenI redukovanch otáek, i hodnoty standby otáek
(nejlépe pomocI kontaktö relé),
• PopIpadë teplotu TMP, jako analogovou hodnotu 0-10 V.
REQ-013 141/A
Stay kontakt relé za klidu, kdy jsou kontakty nesepnuty je NO (Normaly
Open).
REQ-0 13 142/A
Stay pi sepnutI kontaktei znamená ON, (nebo OK, dosaenI stavu, atd.).
REQ-013 143/A
Kontakty musI bt dimenzovány nejménë na 200 mA pi 24 VDC.
3.4.1.2. B. OvIãUáni pomocI sériovëho rozhranI RS232
nebo RS485
REQ-0 13 144/A
RozhranIm RS232 nebo RS485 musI b’’t penáeny minimálnë tyto pIkazy
(binárnI hodnoty):
• TMP zapnout/vypnout,
• PopIpadë redukovaná rychiost, nebo ,,standby” provoz, zapnout/vypnout.
REQ-013 145/A
RozhranIm RS232 nebo RS485 musI b’t penáeny minimälnë tyto stavové
informace (idaje o stavu TMP):
• Status OK (ve v poádku),
EyzikálnI üstav
Akademle véd R.
V. V.
•
et
I
beamtines
•
•
•
•
•
Chybové statusy ALARM, WARNING,
TMP zapnuta tzn. je detekována rotace,
DosaenI nominálnI erpacI rychiosti (otáek),
Popfipadë dosaenI redukovan’’ch otáek, i hodnoty standby otäek,
Popfipadë aktuálnI otá&y.
REQ-013 146/A
Alternativou k sériovému rozhranI, me b’’t rozhranI Ethernet s t’’mi
parametry. Souasná existence obou rozhranIje v’’hodou.
4. PodmInky provozu
REQ-013 109/A
Dodávané zboI musI bt ureno k provozu v následujIcIch podmInkách
• teplota 20±5°C,
• vlhkost 40-80%,
• istota prostiedI: ISO 7 dIe CSN EN ISO 14644,
Poznthmka: Provoz turbomolekulárnIch pump bude nepretrit9 (rádovê nèkolik
tftlnä bez odstãvky).
5. Udrba
REQ-013 112/A
PreventivnI kontrola nakoupeného zaIzenI bude provedena dodavatelem 0
roce od uvedenI do provozu. PreventivnI kontrola musI bt provádèna v mIstë
instalace turbomolekulárnI pumpy.
REQ-013113/A
Zpösob provádénI pribëné preventivnI idrby zadavatelem (kupujIcIm) musI
bt popsthn v technické dokumentaci ke kadému typu IMP, která bude
pedána zadavateli.
6. Po±adavky na dopravu zaiIzenI
6.1. Obecné poadavky na dopravu zaiIzenI
REQ-013 181/A
Doprava do koneného mIsta urenI technologiI a pIstroj musI b’’t
provedeny Dodavatelem.
REQ-013 186/A
Technologie a pIstroje se musI dodat v ochranném obalu zabrañujIcIm
pokozenI a zneitënI a minimálnë dvou oddëIen’’ch vrstvách istého obalu.
Technologie musI b’’t itëny a baleny v souladu s tIdou istoty 7 dIe CSN EN
ISO 14644.
EyziJáInIüstav
Akademle véd R,
v.1.
V.
iOi2
e’i
)))))))
beamUnes
6.2. Specifické poaUavky na dopravu zaiizeni
REQ-013 190/A
SouástI dodávky musI bt i pIsIuenstvI pro správné a bezpené pipojenI k
vakuové komoe, na rozvod chladicI kapaliny apod.
7. Poadavky na bezpenost zaiIzenI
REQ-013 191/A
Dodavatel musI poskytnout prohIáenI o shodë pro kad’’ typ v’robku. Toto
prohIáenI musI b”t v souladu se zákonem
22/1997 Sb., ye znëní
pozdëjIch pedpisi.
.
REQ-014970/A
NesmI b’’t zakázána instalace zaIzenI v prostedI s v’’skytem ionzujIcIho
záenI a EMP.
8. Poadavky na jakost dodávaného zaIIzenI
8.1. Obecné poadavky na jakost dodávaného zaiizenI
REQ-0 13 192/A
SouástI dodaného v’robku bude manual pro uivatele. Tento manual musI
b’’t odsouhiasen Zadavatelem a bude obsahovat pokyny a popis pro:
• pepravu zaIzenI,
• manipulaci se zafizenIm,
• skladovánI zaIzenI,
• instalaci a kalibraci (v pIpadë poteby),
• bezpen provoz zaIzenI a postupy tidrby.
REQ-0 13193/A
Dodavatel musI poskytnout informace o provedené v’’stupnI kontrole zaIzenI
(produktu). Tato informace musI minimálnë obsahovat prohIáenI o shodë
produktu s technick’’mi poadavky definovanmi v RSD na zaIzenI a
kompletnostI zaiIzenI.
EyzikáInIüstav
Akademie véd R. v. v.1.
1112
beamUnes
82. MezinárodnI standardy
REQ-013 111/A
Dodané zboI musI odpovIdat následujIcIm standardm:
.150 1609:1986 Vacuum technology Flange dimension,
.150 2861:2013 Vacuum technology Dimensions of clamped type
quick-release couplings,
.ISO 5302:2003 Vacuum technology Turbomolecular pumps
Measurement of performance characteristic,
.ISO/TS 3669-2:2007 Vacuum technology Bakable flanges,
•CSN EN ISO 14644:1999 Cleanrooms and associated controlled
environ ments.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
—
8.3. Specifické poadavky na jakost dodãvaného zahzenI
8.3.1. Testy
Zadavatel si vyhrazuje právo pekontrolovat parametry nakoupeného vybavenI.
REQ-013147/A
Testy budou provádëny dIe ISO 5302:2003 Vacuum technology
Turbomolecular pumps Measurement of performance characteristic.
-
-
-
EyzikáInIüstav
.
Akademle véd CR. v. v.1.
Cli
1
I))))
beambnes