FyzikáInIüstay - ELI – extreme light infrastructure

FyzikáInIüstay - ELI – extreme light infrastructure

di
Institute of Physics ASCR, v. v. i.
Na Slovance 2
182 21 Prague 8
eIi-cz@fzucz
www.eli-heams.eu
beamttnes
Klasifikace
Dokumentu
BL Restricted for
internal use
.
TC ID / Revaze
0011917$
Status Dokumentu
Document Released
Dokument No.
N/A
WBS kód
TBD
PBS kód
SE.BDS.BT.9.6.VP.2
-
/D
Requirements Specification Document (RSD)
(Technické specifikace (RSD) pro zaIIzenI kategorie typu Al
TurbomolekulãrnI pumpy pro erpánI
atmosférického vzduchu (TP15_043)
L)
K/icvová s/ova
N/A
Pozice
Odpovëdnã
osoba
.
.
Pripraval
Jméno a pIIjmenI
Jakob Andreasson
Program leader, RA4
Marek Rajdl
Designer, Vacuum and cryogenics
Team
.
Fyzi ká I n I ü stay
AkademIe véd
R v v I
DEVELOPMENT FUND
IN USING IN YOUR FUTURE
OP Research a,d
OeseRopmerS tIw hiaovaUes
Datum vytvoenI
RSS TC ID! Revize
008056/A.001
008056/A
008056/A.002
008056/A.003
008056/A.004
22.09.2015
22.09.2015
22.09.2015
22.09.2015
08.03.2016
Datum zmèny
17:54
17:54
17:54
17:54
11:50
22.09.2015
08.03.2016
13.01.2016
17.02.2016
08.03.2016
Systems
18:13
14:09
12:15
17:54
11:51
Engineer
Aleksei Kuzmenko
Aleksei Kuzmenko
Matek Mal’’
Marek MaI’
Aleksei Kuzmenko
Revize dokumentu
Jméno
(Reviewer)
Pozice
Datum
PoUpis
Jakob Andreasson
Program leader, RA4
NOTICE (Product category A)
Martin Sokol
Designer, BIS
NOTICE (Product category A)
Martin Jantac
Designer, Vacuum and
cryogenics Team
NOTICE (Product category A)
Marek Rajdl
Designer, Vacuum and
cryogenics Team
NOTICE (Product category A)
Ladislav Pust
Manager Installation of
Technology
NOTICE (Product category A)
Milan Berta
Logistics Coordinator for
research activities 2-6
NOTICE (Product category A)
Jana Hejduková
Geodetic Engineer
NOTICE (Product category A)
Alice Hamalové
Clean Room Specialist
NOTICE (Product category A)
Petr Procházka
Safety Coordinator
NOTICE (Product category A)
.
.
.
.
.
SE & Planning group leader;
Viktor Fedosov
NOTICE (Product category A)
Quality Manager (Appointed
temporary)
SchválenI
Jméno
dokumentu
(Schvalovatel)
Pozice
Datum
Science and Technology
coordinator, Scientific
coordinator of RA2-6
Georg Korn
/,7
129
(9
Záznam o pro veden)tch zmènách v dokumentu
Zmèna
No.
.
Pripra
.
Datum
vii
1
2
A.Kuzmenko
M.MaI
23.09.2015
13.01.2016
3
M.Ma
17.2.2016
4
A.Kuzmenko
08.3.2016
EyzikáInIüstav
ë
I.
L.Z)
A k ad em I e
V
d
R,
V. V.
Popis
zmen,
Podpis
/
,//
7<”
.%
/ revize
Stranka, Kapitola
TC
VytvoIenI dokumentu
Dokument na schválenI
Update dokumentu redukce potu TMP
+
vypusteni TMP typu E
Aktualizace dokumentu, finálnI revize
rev.
A
B
-
D
I))))))
2i2
I
beamtines
Obsah dokumentu
1.Uvod
4
1.1. Uei dokumentu
1.2. Pedmëtdokumentu
1.3. Pojmy, Definice a Pouité zkratky
4
4
4
2. Obsah dodávky
3. Obecné funknI, v’9konové poadavky a poadavky lAm itujIcI konstruknI návrh
5
5
3.1. Obecné poadavky
5
3.1.1. Technická specifikace turbomolekulárnIch pump A, B, C, D (Tab. 1)
3.1.2. VoIn’’ prostor pro umIstënI turbomolekulárnIch pump typu A (Obr. 1)
6
7
3.2. erpacI rych lost
3.2.1.
3.2.2.
3.2.3.
3.2.4.
3.2.5.
7
KompresnI pomër
MeznI tlak
MaximthlnI pIpustn’’ tiak na vstupu turbomolekulárnI pumpy
MaximálnI povolen tlak na v’stupu turbomolekulárnI pumpy
ChlazenI turbomolekulárnIch pump
7
7
8
8
8
3.3. PIdavná zaIzenI
3.4. RIdicI system Dálkové ovládánI pump
8
8
-
3.4.1. Poadovaná rozhranI
9
4. PodmInky provozu
5. Udrba
6. Poadavky na dopravu zaIzenI
10
10
11
6.1. Obecné poadavky na dopravu zaIzenI
6.2. Specifické poadavky na dopravu zaIzenI
11
11
7. Poadavky na bezpenost zaIzenI
8. Poadavky na jakost dodévaného zaiIzenI
11
12
8.1. Obecné poadavky na jakost dodévaného zaIzenI
8.2. MezinárodnI standardy
8.3. Specifické poadavky na jakost dodévaného zaIzenI
12
12
12
8.3.1.Testy
FyzikálnI üstav
Akademle véd CR, v. v. I.
12
3112
eli
i))))))
beamtines
1. Uvod
Dodávka turbomolekulárnIch pump a pfisIuenstvI bude zabudována do laserov’’ch a
experimentálnIch zaIzenI v IaboratornIm prostedI.
TurbomolekuithrnI pumpy budou sIouit k oderpávánI atmosférického vzduchu o tepioté
20±5°C a vlhkosti 4080%.
1.1 Uei dokumentu
Tento dokument pedstavuje technickou specifikaci (dale jen RSD; Requirements Specification
Document) obsahujIcI technické poadavky a omezujIcI podmInky na poadované zaIzenI v
rámci projektu ELI. Toto me vest k identifikaci rozhranI zaIzenI (produktu) s ELI
v’’zkumn’’mi technologiemi stejnë jako zaIzenIm budovy ELI. Tato technická specifikace (RSD)
take plnI roli nadazeného dokumentu pro dokumentaci technickch poadavkö, které je teba
et na niI ürovni konstruknIho návrhu (designu).
1.2. P1edmët dokumentu
Poadova né zaIzen 1/prod u kt (Turbomo/ekulárnI pumpy pro erpánI atmosférického vzduchu
[PBS: SE.BDS.BT.9.6; SE. W.1O.21.2.1]) je specifikováno v následném textu tohoto RSD.
RSD obsahuje následujIcI poadavky na poadované zaIzenI (produkt): funkcnI, vkonové,
poadavky limitujIcI konstrukcnI nãvrh, pozadavky na transport, pozadavky na bezpecnost a na
jakost dodávaného zaiIzenI (produktu). Jedná se o zaIzenI kategorie typu A.
Kategorie zaiIzenI (produktu) typu A pedstavuje katalogové zaIzenI (produkt) bez nutnosti
modifikacI a bez nutnosti realizovat program ovëování (pezkoumánI návrhu, vizuálnI
kontrola, zkouky) pro Zadavatele die aktuálnIch specifikacI aplikacI v rámci projektu ELI
Beamlines.
Vechny aktivity ovëovánI realizované Dodavateiem musI bt provedeny v souladu S
Dodavateiov’’m plánem v’’stupnI kontroiy (v’stupnI vizuálnI kontrolou a vstupnImi
zkoukami). InternI postup pejImky zaIzenI (produktu) kategorie typu A musI b’t stanoven a
aplikován pied uvedenIm zaIzenI do provozu (faze provozu).
1.3. Pojmy, Definice a Pouité zkratky
Pro eiy tohoto dokumentu jsou pouity následujIcI pojmy, zkratky a definice:
Zkratka
CA
E1-E6
ELI
L1-L4
PLC
RA1-RA6
RSD
TMP
Pojem, definice
Contracting Authority (Zadavatel)
ExperimentálnI haly 1-6 (Experimental hails 1-6)
Extreme Light Infrastructure
Laserové haly 1-4 (laser halls 1-4)
Programovateln’’ logick’ automat
V’zkumné aktivity 1-6 (Research activities 1-6)
Requirement Specification Document (technická specifikace)
TurbomolekulárnI pumpa
FyzikáInIüstav
L) Akademie véd R, v. v.1.
et
I
I))))))
beamlines
2. Obsah dodávky
REQ-U 13055/A
SoustI dodaného zboI musI bt:
TurbomoiekuiárnI pumpy die technické specifikace (Tab. 1),
NapájecI a IdIcI jednotky pro vechny turbomoiekuiárnI pumpy,
> Kabeiá,
SIto pro hrubé nestoty na vstupnI pIrubu ke kadé TMP,
ZavzduñovacI ventii (eiektricky oviádan’) ke kadé IMP,
Protokoi o funknIm testu TMP,
BaienI a transport zboI,
> Manual k provozu, k instalaci a ádrbë TMP v eském nebo angiickëm
jazyce (v eiektronické podobé),
> ZakoienI technického personáiu o provozu a üdrbë zaIzenI v rozsahu
max. 1 den v mIstë dodánI.
3. Obecné funknI, vykonové poadavky a poadavky
IimitujIci konstruknI nãvrh
3.1. Obecné poaUavky
REQ-U 13059/A
Vechny turbomoiekuiárnI pumpy musI bt bezoiejové a nesmI docházet k
ádnému uvoiñovánI ástic z turbomoiekuiárnIch pump do erpaného
prostoru.
REQ-013060/A
Loiska nesmI b’’t pimazávána tuh’’mi mazivy (tuky).
REQ-013061/A
Vechny turbomoiekuiárnI pumpy musI b’’t vybaveny IdicI a napájecI
jednotkou, které umofrI provoz a oviádánI TMP.
REQ-013062/A
Vechny turbomoiekuiárnI pumpy musI b’’t chiazeny vodou (viz Tab. 1
Poadavky na chiad. kapaiinu), nebo musI b’’t schopné provozu bez
pIdavného chiazenI.
REQ-013063/A
Vechny turbomoiekuiárnI pumpy musI b’’t schopny provozu v libovoiné
poioze.
REQ-013064/A
Vechny turbomoiekuiárnI pumpy musI b’t chránëny proti pokozenI pi
v’’padku eiektrické energie.
REQ-013065/A
Vechny turbomoiekulárnI pumpy musI b’’t chránëny proti pokozenI pi
náhlém nárstu tepioty.
REQ-0 13066/A
Rozmër a typ pIrub pro pipojenI turbomoiekuiárnIch pump k erpanému
recipientu je specifikován v Tab. 1.
EyzikáIniüstav
v.
Akademle vêd R. v.
i.
I
beamtines
REQ-0 13067/A
Rozmër a typ v’’stupnIch pIrub turbomolekuiárnIch pump je specifikován v
Tab. 1.
3.1.1. Technická specifikace turbomolekulãrnIch
A, B, C, D
(Tab. 1)
TYP
A
B
C
D
MnostvI [ks]
1
1
1
1
2100
680
250
60
2.108
2.108
8.10b0
$1040
Rozmër
DN 250
DN 160
DN 100
nebo
DN 100
Typ
ISO-CF
ISO-CF
ISO-CF
ISO-CF
DN 25 nebo
DN 40
DN 16 nebo
DN 25
DN 16 nebo
DN 25
ISO-KF
ISO-KF
MinimálnI nominálnI erpacI
rychiost pro N2 [I•s
1
pump
]
MeznItlak [mbar]
DN 63
VstupnI pIruba
ISO 1609:1986
,,
Vystupni priruba
Iso 2861:2013
Rozmer
DN 40
Typ
ISO-KF
ISO-KF
9•10
1•10
Dem.
voda
Dem.
voda
Dem.
voda
Dem.
voda
2,5
2,5
2,5
2
16 20
16 20
16 20
16 20
4
4
4
4
Iibovolná
Iibovolnã
Iibovolná
Libovolná
70
50
20
20
-
-
-
MinimálnI kompresnI pomër pro
N2
,
Typ chiazeni
MaximálnI prütok chiadicI kapaliny
•
[I/mm]
Teplota chladicI kapaliny [°C]
MaximàlnI tiak chladicI kapailny
[bar]
Orientace
MaximálnI hmotnost [kg]
MaximálnIrozmëry
-
die Obr. 1
7
-
9•10
7
-
9•10
7
-
Tab. 1 Technická specifikace turbomolekulàrnIch pump A, B, C, D.
REQ-013068/A
Pokud turbomoiekuiãrnI pumpa typu A obsahuje externI kontroiér resp.
integrovan kontrolér, musI turbomoiekuiárnI pumpa resp. sestava (TMP +
kontrolér) spiFmovat maximáinI rozmëry die Obr. 1.
EyzikálnIüstav
‘
Akademle véd R. v.v.i.
Lii2
et’
I
i))))))
beamhnes
3.1.2. Volny prostor pro umIstëni turbomolekulárnIch
pump typu A (Obr. 1)
,—
Flange of a chamber
LI,
a’
0
Lfl
Obr. 1: VoIn’’ prostor pro umIstënI turbomolekulárnIch pump typu A.
3.2. erpaci rychiost
REQ-013069/A
erpacI rychiost pro jednothvé typy turbomolekulárnIch pump je spedfikována
vTab. 1.
3.2.1. Kompresni pomër
REQ-Of 3070/A
MinimálnI kompresnI pomër pro jednotlivé typy turbomolekuiárnIch pump je
specifikován v Tab. 1.
3.2.2. Mezni tiak
REQ-013071/A
MeznI tiak pro jednotlivé typy turbomolekulárnIch pump je definován v Tab. 1.
REQ-013072/A
Vechny turbomolekulárnI pumpy se vstupnI pIrubou ISO-F a s pIrubou CF
musI dosáhnout meznIho tlaku na zaslepené vstupnI pIrubë die Tab. 1
nejdéle za 12 hod pi erpánI z atmosférického tiaku.
Eyzikáinfüstav
v.1.
Akademie véd R.
V.
7112
et
1
beamtines
3.2.3. MaximálnI pIipustny tiak na vstupu
turbomolekulárnI pumpy
REQ-013073/A
TurbomolekulárnI pumpy musI b’’t schopné nepetritého provozu pi tlaku
0,001 mbar na vstupnI pIrubë.
3.2.4. MaximálnI povoleny tiak na vystupu
turbomolekulárnI pumpy
REQ-013074/A
TurbomolekulérnI pumpy musI bt schopné nepetritého provozu p19 tlaku
0,1 mbar na v’’stupnI pfirubë.
3.2.5. Chlazeni turbomolekulárnIch pump
REQ-013075/A
Pro chiazenI turbomolekulárnIch pump, musI b’t mofré pouIt
demineralizovanou vodu.
3.3. PIIdavná zaiIzeni
REQ-013076/A
SouästI dodávky ke kadé turbomolekulárnI pumpë musI bit:
•
•
•
•
•
SIto na vstupu pro hrubé nestoty. NesmI snIt erpacI rych lost vice
ne o 10% a velikost ,,ok” nesmI b’’t vëtI ne 5 mm,
ZavzduñovacI ventil (elektricky ovládan),
PIsluenstvI umofrujIcI turbomolekulárnI pumpu p19pojit na rozvod
chladicI kapaliny,
Kabelá,
idici jednotka (kontrolér) a napájecI jednotka.
3.4. iIdicI system
-
Dálkové ovlãdãnI pump
V tomto oddIle se termInem pumpa oznauje turbomolekulárni pumpa (TMP) se svm
pIslun’’m kontrolérem vetnë napájecI jednotky. TMP budou zaIenëny do idicIho systému,
kter’’ je bude dálkovë ovládat. Pod pojmem rozhranI se rozumI soubor technick’ch opatenI
zajifujIcI komunikaci s nadazen’’m dálkov’’m ovldánim. Pod pojmem ,,binárnI” se rozumI
dvoustavová hodnota. Neboli pokud je napi. uvedeno, e informace ,,status OK” je binãrnI
ádaj/signál, ma tato informace dye mofré hodnoty ,,OK” a ,,NOT OK”, aifje realizovéna jako
jednobitová hodnota, i jinak.
REQ-013078/A
TMP musi b’’t mofro napájet ze sIte 230 V ± 10%, 50 Hz.
FyzikáIniüstav
Akademle véd CR,
V. V.
I.
812
I))))))
beamtines
3.4.1. Poadovaná rozhranI
3.4.1.1. A.Paralelni vstupnë/ vystupni rozhrani pro
piipojenI vzdãlenëho ovlãdãnI
Charakteristick’’ vice pinov’m dedikovan’’m konektorem pro pipojenI PLC.
REQ-013081/A
Rozhrani pro vzdálené ovládáni musI pouivat vstupni jednobitové (logické)
signály o tirovni max. 24 VDC/ 20 mA.
REQ-013082/A
Paralelnim rozhranIm musI bt penáeny minimálnë tyto pIkazy (vstup do
TMP):
•
•
Zapnuti a vypnutI TMP,
PopIpadë daII signály potebné pro iádné ovládánI TMP.
REQ-013083/A
ParalelnIm rozhranIm musi bt penáeny tyto stavové informace (v’stup z
TMP):
•
•
•
•
•
•
OK status, tj. ve v poádku (nejlépe pomocI kontakt relé),
TMP zapnuta, tj. e jsou detekovény otáky (nejlépe pomoci kontakt
relé),
Dosaeni nominálnIch otáek (nejlépe pomoci kontakt relé),
Signalizaci abnormálnIho stavu a vstrahy (nejlépe pomocI kontakt
relé),
PopIpadë dosaenI redukovan’ch otáek, i hodnoty standby otáek
(nejlépe pomoci kontakt relé),
PopIpadë teplotu TMP, jako analogovou hodnotu 0-10 V.
REQ-013084/A
Stay kontaktö relé za klidu, kdy jsou kontakty nesepnuty je NO (Normaly
Open).
REQ-0 13085/A
Stay pi sepnuti kontakti znamená ON, (nebo OK, dosaeni stavu, atd.).
REQ-0 13086/A
Kontakty musI b’’t dimenzovny nejméné na 200 mA pi 24 VDC.
3.4.1.2. B. OvládánI pomocI sériového rozhranI RS232
nebo RS485
REQ-013087/A
RozhranIm RS232 nebo RS485 musi b’’t penáeny minimálnë tyto pikazy
(binárnI hodnoty):
•
•
TMP zapnout/vypnout,
PopIpadë redukovaná rychiost, nebo ,,standby” provoz,
za pnout/vypnout.
EyzikálnIüstav
Akademle véd CR.
V. V.
I.
9r(12
I
beamtines
REQ-01 3088/A
RozhranIm RS232 nebo RS485 musI b’t penáeny minimálnë tyto stavové
informace (üdaje o stavu TMP):
•
•
•
•
•
•
Status OK (ve v poádku),
Chybové statusy ALARM, WARNING,
TMP zapnuta tzn. je detekována rotace,
DosaenI nominálnI erpacI rychiosti (otáek),
PopIpadë dosaenI redukovan’ch otáek, i hodnoty standby otáek,
PopIpadë aktuálni otáky.
REQ-013089/A
Alternativou k sériovému rozhranI, me bt rozhranI Ethernet s t’mi
parametry. Souasná existence obou rozhranIje v’hodou.
REQ-0 13090/A
SouástI dodávky musI bt manual s popisem komunikanIho protokolu.
4. Podminky provozu
REQ-0 13054/A
Dodávané zboI musI b’’t ureno k provozu v nasledujIcIch podmInkách:
• teplota 20±5°C,
• vlhkost 40-80%,
• istota prostedI: ISO 7 dIe CSN EN ISO 14644.
Poznámka: Provoz turbomo/eku/ãrnIch pump bude nepretrzit (ráUové nëkolik
t2dnö bez odstávky).
5. Udrba
REQ-013057/A
PreventivnI kontrola nakoupeného zaIzenI bude provedena dodavatelem p0
roce od uvedenI do provozu. PreventivnI kontrola musI b’’t provádëna v mIstë
instalace turbomolekulárnI pumpy.
REQ-013058/A
Zpsob provádënI prbëné preventivnI üdrby zadavatelem (kupujIcIm) musI
b’’t popsán v technické dokumentaci ke kadému typu turbomolekulárnI
pumpy, která bude pedána zadavateli.
EyziknIüstav
Akademle véd R.
I.
V. V.
10112
beamtines
6. Poadavky na dopravu zaIIzeni
6.1. Obecné poadavky na dopravu zaIIzeni
REQ-013 165/A
Doprava do koneného mIsta urenI technologiI a pIstroj musI b’’t
provedeny Dodavatelem.
REQ-013 170/A
Technologie a pIstroje se musI dodat v ochranném obalu zabrañujIcIm
pokozenI a zneitënI a minimálnë dvou oddëIen’’ch vrstvách istého obalu.
Tech nologie musI bt itëny a baleny v souladu s tIdou istoty 7 dIe CSN EN
Iso 14644.
6.2. Specifické poadavky na dopravu zahzenI
REQ-013092/A
SouástI dodávky musI b’t I pIsIuenstvI pro správné a bezpené pipojenI k
vakuové komoe, na rozvod chiadicI kapaliny apod.
7. Po±adavky na bezpenost zaHzeni
REQ-013 177/A
Dodavatel musI poskytnout prohIáenI o shodë pro kad’ typ v’’robku. Toto
prohIáenI musI b’t v souladu se zákonem
22/ 1997 Sb., ye znëní
pozdëjIch pedpis&
.
REQ-0 14972/A
NesmI bt zakázána instalace v prostedI s vskytem ionizujIcIho záenI a
EMP.
EyzikáInIüstav
Akademie véd R. v. v. i.
1112
di
beamtines
8. Poadavky na jakost dodãvanëho zalizeni
8.1. Obecné poadavky na jakost dodãvaného zaIIzenI
REQ-013 178/A
SouástI dodaného v’’robku bude manual pro uivatele. Tento manual musI
b’’t odsouhiasen Zadavatelem a bude obsahovat pokyny a popis pro:
• pepravu zaIzenI,
• manipulaci se zaIzenIm,
• skladovánI zaIzenI,
• instalaci a kalibraci (v pIpadë poteby),
• bezpen’’ provoz zaIzenI a postupy tidrby.
REQ-013 179/A
Dodavatel musI poskytnout informace 0 provedené v’stupnI kontrole zaiIzenI
(produktu). Tato informace musI minimálnë obsahovat prohláenI o shodë
produktu s technick’’mi poadavky definovan’mi v RSD na zaIzenI a
kompletnostI zaIzenI.
8.2. MezinárodnI standardy
REQ-013056/A
Dodané zboI musI odpovIdat následujIcIm standardm:
• ISO 1609:1986 Vacuum technology Flange dimension,
• ISO 2861:2013 Vacuum technology Dimensions of clamped type
quick-release couplings,
• ISO 5302:2003 Vacuum technology Turbomolecular pumps
Measurement of performance characteristic,
• ISO/TS 3669-2:2007 Vacuum technology Bakable flanges,
• CSN EN ISO 14644:1999 Cleanrooms and associated controlled
environments.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
—
8.3. Specifické poadavky na jakost dodávaného zaIIzenI
8.3.1. Testy
Zadavatel si vyhrazuje právo pekontrolovat parametry nakoupeného vybavenI.
REQ-013091/A
Testy budou provádëny die ISO 5302:2003 Vacuum technology
Turbomolecular pumps Measurement of performance characteristic.
-
-
-
EyzikáInIüstav
Akademle véd CR,
V. V.
f.
i2i2
cli
‘
beamtines